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束流強度對掃描電鏡成像質(zhì)量的影響

 發(fā)布時間:2019/5/30 點擊量:1818
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詳細介紹:

通過之前的 “如何通過選擇加速電壓來提高掃描電鏡的圖像質(zhì)量” 與 “樣品導(dǎo)電性對掃描電鏡成像的影響” 這兩篇文章,大家都了解了加速電壓與樣品導(dǎo)電性對圖像的成像質(zhì)量有非常大的影響。

 

其實,除了加速電壓與樣品的導(dǎo)電性,電鏡的束流強度、圖像亮度對比度、圖像像散等都會影響掃描電鏡圖像的成像質(zhì)量。今天,這篇文章將圍繞如何選擇束流強度,提高樣品的成像質(zhì)量。

 

掃描電鏡的發(fā)射束流強度對圖像的信噪比和分辨率(resolution)有著決定性的影響。大束流可以提高圖像的信噪比,但是分辨率較低。小束流則正好相反,具有較高的分辨率,但信噪比較差。

 

在這里,小編需要給大家簡單科普一下分辨率與信噪比的含義,有利于大家理解后面的內(nèi)容:

 

分辨率是掃描電鏡主要性能指標(biāo),對成像而言,指能分辨兩點之間的小距離(如圖1 所示)。通常來說,分辨率越高,樣品的邊緣會越鋒利。

 

圖1  分辨率定義(兩點間距離)?

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