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使用的飛納電鏡，荷蘭VDL ETG公司正在探索清潔度提升的極限

在高科技行業(yè)中，組件的發(fā)展趨勢是變得越來越干凈，例如對于真空系統(tǒng)的組件。客戶不能忍受哪怕是很小的灰塵顆粒。然而，為了去除它們，生產(chǎn)商必須首先發(fā)現(xiàn)它們。用的飛納臺式掃描電鏡，可以探測到萬分之一毫米的粒子。荷蘭VDL ETG公司為了清潔晶元而購買了飛納電鏡。在常規(guī)正常生產(chǎn)中，也被證明是非常有用的。

研究清潔的方法

“如果客戶的目標(biāo)是追求越來越干凈，那么我們就必須知道正在和他們討論的是什么。”“知識就是力量”，Geert Jakobs說到。他是VDL ETG技術(shù)開發(fā)公司的總。他的公司，包括TNO和ASM Europe，正在一起參與一個(gè)歐洲研究項(xiàng)目，以研究開發(fā)新的晶圓清潔工藝。“我們需要更多地了解清潔產(chǎn)品的制造，為此，這個(gè)項(xiàng)目是一個(gè)不錯(cuò)的平臺。”它是關(guān)于從組件表面去除微小的100納米(一納米是百萬分之一毫米)的塵埃顆粒。

我們在這個(gè)項(xiàng)目中的目標(biāo)是研究公司必須使用的生產(chǎn)方法。這些粒子非常小，以至于不能再用傳統(tǒng)的技術(shù)看到它們（比如近紫外光直接檢查）。因此，我們需要尋找一種方法來檢測這些粒子，并確定它們的來源。

荷蘭產(chǎn)品

VDL ETG購買了來自荷蘭埃因霍溫的飛納臺式掃描電鏡。飛納臺式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 不僅可以用來成像，還可以用其內(nèi)置的能譜儀EDS進(jìn)行化學(xué)元素分析。

技術(shù)Luuk Berkelaar說，正是飛納電鏡的技術(shù)指標(biāo)和實(shí)際性能贏得了VDL ETG的青睞。“分辨率和放大倍數(shù)是對我們來說zui重要的參數(shù)。此外，利用元素分析可以確定粉塵顆粒的化學(xué)成分，從而可以追溯其根本原因。”此外，VDL ETG還購買了于測量和分類粉塵顆粒的顆粒統(tǒng)計(jì)分析測量系統(tǒng)，以及表面粗糙度的測定軟件。

VDL ETG采購飛納電鏡的主要原因是什么呢。飛納Phenom是一個(gè)荷蘭產(chǎn)品確實(shí)很重要，但不是直接決定因素；競爭對手產(chǎn)品也同樣被關(guān)注。特別重要的是的指標(biāo)參數(shù)——以及另一種支持荷蘭產(chǎn)品的觀點(diǎn)——距離Phenom-World總部更近。

Berkelaar說到：“Phenom-World公司非常友好和開放，我們直接與了解產(chǎn)品技術(shù)的人員面對面交流”。來自VDL ETG的工作人員對電鏡系統(tǒng)的工作和軟件使用提供了非常好的反饋：還有什么掃描電鏡可以稍微不同甚至更好？”

飛納Phenom的優(yōu)點(diǎn)是比它的競爭對手更緊湊，所以它可以被放置在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的超凈臺里面(為了防止環(huán)境里的污染物進(jìn)入。