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近年來，隨著科技的發(fā)展和材料尺寸的不斷縮小，掃描電鏡（SEM）已經成為一種非常有價值的表征方法。SEM作為一種通用的工具，方便用戶可以對各種各樣的材料進行多種不同類型的分析。為獲得更好的結果，用戶應該仔細設定SEM參數。其中一個設置是束斑直徑，即照射在樣品上的電子束直徑。在這篇博客中，闡述了如何在SEM中調整束斑直徑，以及如何在高分辨率成像和大束流之間實現(xiàn)平衡，以獲得*結果。
如何在SEM下調整束斑直徑
描述SEM中電子束性質的四個主要參數如圖1所示:
圖1：SEM中電子束的四個主要參數：加速電壓、會聚角、電子束流和束斑直徑
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