臺(tái)式電鏡的作用及構(gòu)造
臺(tái)式電鏡采用全自動(dòng)控制無油式真空系統(tǒng)，采用機(jī)械泵＋磁懸浮分子渦輪泵＋離子泵，無油污染，*的環(huán)形二次電子探測(cè)器，探測(cè)效率高、圓周對(duì)稱，探測(cè)器安裝在一側(cè)，且結(jié)構(gòu)復(fù)雜。
臺(tái)式電鏡維護(hù)簡(jiǎn)便，且工作穩(wěn)定，電鏡每8個(gè)小時(shí)都需要Flash(陰極還原)，且發(fā)射電流不穩(wěn)定，使用維護(hù)麻煩。末級(jí)光欄采用多孔光欄結(jié)構(gòu)，用電磁方式進(jìn)行更換和對(duì)中調(diào)整，操作方便。
臺(tái)式電鏡多功能控制面板：方便進(jìn)行聚焦、消像散、電位移、放大倍率調(diào)整等，可選配光電一體化模塊，實(shí)現(xiàn)與光學(xué)顯微鏡連用：實(shí)現(xiàn)低倍定位，拍照等功能。
臺(tái)式電鏡預(yù)置圖像插入模板，生成報(bào)告非常簡(jiǎn)單，可根據(jù)觀察目的設(shè)置儀器樣品倉內(nèi)的真空度及加速電壓有多種選擇，可根據(jù)需求自行設(shè)置，簡(jiǎn)化尋找視野、圖像拍攝、圖像確認(rèn)等一系列操作過程，通過在樣品倉內(nèi)安裝光學(xué)相機(jī)來拍攝整個(gè)樣品，可實(shí)現(xiàn)在顯示器上觀察樣品的同時(shí)，尋找樣品目標(biāo)位置。
而且，僅需在顯示器上點(diǎn)擊希望觀察的位置，即可進(jìn)行SEM圖像拍攝，還可使用軟件將低倍率和高倍率SEM圖像的位置關(guān)系進(jìn)行關(guān)聯(lián)，并將結(jié)果顯示在顯示器上，使各圖像的位置更為直觀。
臺(tái)式電鏡束流穩(wěn)定度高，優(yōu)于0.2%/h，適宜于長(zhǎng)時(shí)間的各種分析，所需的工作真空度（包括電子槍真空度和樣品室真空度）較低，對(duì)環(huán)境、樣品要求不高。而冷場(chǎng)發(fā)射電鏡的真空度比熱場(chǎng)要高2個(gè)數(shù)量級(jí)，真空系統(tǒng)復(fù)雜，如樣品不清潔、有揮發(fā)、放氣等情況，抽真空較困難。
臺(tái)式電鏡采用動(dòng)態(tài)/靜態(tài)磁透鏡，沒有雜散磁場(chǎng)，可對(duì)鐵磁體樣品進(jìn)行高分辨率成像。
